응용 분야:
- 건축용 글래스
- 터치 스크린, 평면 모니터
- OLED 응용 분야
- 스마트 글래스 분야
- 투명 정전기 방지 포일
- 태양 전지Photovoltaic cells
- De-icing 및 난방 영역 and heating applications
- 배터리 분야
片電阻測量
The EddyCus® TF map 2525SR/5050SR 은 글래스, 웨이퍼, 플라스틱, 포일에 증착된 전도성 박막 필름의 두께 및 면저항을 비접촉, 그리고 실시간으로 측정합니다. 이 장비는 정확하고 빠르게 전도성 필름의 면저항을 고해상도로 맵핑하며, 메탈 필름의 두께를 모니터링 합니다. 이 비접촉 방식의 맵핑 솔루션은 다음과 같은 영역에 유익합니다.
- 증착 공정
- 풀림(Annealing) 공정
- 도핑 공정
| 투명 박막 필름 | 금속성 박막 필름 |
|---|---|
| TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) | 알루미늄 |
| 탄소나노튜브 및 나노 버드(Nano Buds) | 몰리브데늄 |
| 그래핀 필름 | 은 |
| 메탈 나노와이어 및 나노 그물망 | 구리 |
| 나노 입자 필름 | 기타 많은 분야 |
소프트웨어 및 조작
면저항 분석기(Sheet resistance analyzer)는 시스템 조작과 데이터 분석을 위한 소프트웨어 로서 조작이 간단합니다. 테스트의 결과는 그래픽으로 디스플레이 되어지고, 추가적인 히스토그램과 소프트웨어 기능들이 더욱 자세한 저항 측정을 가능하게 합니다.
- 빠른 자동화 맵핑
- 사용하기 쉬운 통계 분석
- 분석 및 데이터추출 기능
맵핑 솔루션
EddyCus® TF map 2525SR /
EddyCus® TF map 5050SR
EddyCus® TF map 2525SR/5050SR 은 전도성필름, 글래스 증착 박막 시스템, 웨이퍼 및 포일의 면저항, 두께, 층 균일도, 전도성 효과, 그리고 결함을 빠른 맵핑으로 측정합니다. 당사는 각각의 목적에 맞는 다양한 비접촉 측정 솔루션을 보유하고 있습니다.
- 면저항 모니터링 [Ohm/sq]
- 박막필름 모니터링 [nm]
- 저전도성부터 고전도성까지 기판의 두께 모니터링[µm]
성능 및 설치
| EddyCus® TF map 2525 SR | EddyCus® TF map 5050 SR | |
|---|---|---|
| Sheet Resistance Measurement | Yes | |
| Thickness Measurement | Yes | |
| Optical Transmission | Optional | |
| Anisotropy Determination | Optional | |
| Sheet Resistance & Metal Thickness Measurement | Non-Contact Eddy Current Sensor | |
| Substrate Thickness Measurement | Ultrasonic Sensor | |
| Max. Scanning Area | 10 inch / 254 x 254 mm | 20 inch / 508 x 508 mm |
| Max. Sample Thickness (defines distances) |
2 / 5 / 10 / 14 mm (Defined by the thickest sample/application) |
|
| Sheet Resistance Range | 0,001 – 10 Ohm/sq; <2 % accuracy 10 – 100 Ohm/sq; < 3 % accuracy 100 – 1.000 Ohm/sq; < 5 % accuracy |
|
| Thickness Mapping of Metal Films (e.g. copper) | 2 nm - 2mm (in accordance with sheet resistance) |
|
| Scanning Time @ 1 - 10 mm Measurement Pitch | 4 inch / 100 x 100 mm in 0.5 to 5 minutes 8 inch / 200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes |
8 inch / 200 x 200 mm in 1.5 to 15 minutes 12 inch / 300 x 300 mm in 3 to 30 minutes |
| Scanning Pitch | 1 / 2 / 5 / 10 mm (other on request) | |
| Device Sizes (h/w/d) | 230 / 600 / 800 mm | 290 / 1180 / 900 mm |
| Weight | 27,0 kg | 120,0 kg |
| Available Features | Metal thickness tester Anisotropy sheet resistance sensor Optical transmission sensors at 632 nm wavelength |
|
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