응용 분야
- 건축용 글래스
- 터치 스크린, 평면 모니터
- OLED 응용 분야
- 스마트 글래스 분야
- 투명 정전기 방지 포일
- 태양 전지Photovoltaic cells
- De-icing 및 난방 영역 and heating applications
- 배터리 분야
면저항 측정
The EddyCus® TF lab series 측정 장비는 글래스, 웨이퍼, 플라스틱 및 포일에 증착된 전도성 박막 필름의 두께 및 면저항을 비접촉방식으로, 그리고 실시간으로 단일 지점에 한해 측정합니다. 이 장비는 또한 금속포일이나 시트같은 전도성 물질의 두께 측정에도 실시간으로 적용 가능합니다.
| 투명 박막 필름 | 금속성 박막 필름 |
|---|---|
| TCO (ITO, FTO, AZO, ATO) | 알루미늄 |
| 그래핀 | 몰리브데늄 |
| 탄소나노튜브 | 아연 |
| 메탈 나노와이어 | 은 |
| 기타 많은 분야 | 기타 많은 부분 |
소프트웨어 및 조작
The EddyCus® TF lab 은 면저항 측정, 데이터 추적 및 분석에 적합한 소프트웨어이며, 조작이 간단합니다. SURAGUS는 사용자에게 편의성을 제공하기 위해 터치스크린 기능이 가능한 노트북이나 태블릿 PC에 연동되는 소프트웨어를 제공합니다.
- 면저항이나 두께 실시간 묘사
- 수동으로도 조정 되는 맵핑 모듈
- 데이트 셋 모음, 저장 및 추출 기능
- 해당 층이나 기판의 두께를 실시간으로 전송
단일 지점 측정 장비
EddyCus® TF lab 2020 Series
EddyCus® TF lab 2020SR
EddyCus® TF lab 2020SR 은 연구소용 혹은 작은 크기의 샘플 측정에 적합한 장비로써, 단일 지점의 면저항이나 층 두께를 측정합니다.
- 면저항 모니터링 [Ohm/sq]
- 박막필름 두께 모니터링 [nm]
- 저전도성부터 고전도성까지 기판의 두께 모니터링[µm]]
EddyCus® TF lab 4040 Series
EddyCus® TF lab 4040SR
EddyCus® TF lab 4040SR 은 면저항과 박막의 두께를 비접촉으로 빠르게 단일 지점에 측정할 수 있는 장비입니다. 특히, 대면적의 샘플 측정을 위해 연구소, R&D센터, 공정라인의 품질 보증 등에 다양하게 사용될 수 있습니다.
- 다층 구조 시스템 면저항 측정(요청에 따라 측정 가능성 조사 수행)
- 층 및 기판의 두께 모니터링 [nm]
성능 및 설치
| EddyCus TF lab 2020SR | EddyCus TF lab 4040SR | |
|---|---|---|
| 면저항 측정 | Eddy current sensor | |
| 기판 두께 측정 | On request | |
| 측정 범위 | 200 x 200 mm² | 400 x 400 mm² |
| 최대 측정 가능한 샘플 두께 |
up to 14mm (20 mm possible) (가장 두꺼운 샘플에 따라 조정 가능) |
1 / 2 / 5 / 10 / 18 mm (50 mm possible) (가장 두꺼운 샘플에 따라 조정 가능) |
| 측정 가능한 면저항 범위 | 0,0001 – 10 Ohm/sq; 2 % accuracy & 1 % repeatability 10 – 100 Ohm/sq; 3 % accuracy & 1.5 % repeatability 100 – 500 Ohm/sq; 4 % accuracy & 2 % repeatability 100 – 1.000 Ohm/sq; 5 % accuracy & 2.5 % repeatability 1.000 – 3.000 Ohm/sq; 8 % accuracy & 4 % repeatability |
|
| 박막필름의 두께 측정 | 면저항 크기에 따라 조정 필요 | |
| 장비 크기 (높이/너비/두께) | 445 / 290 / 140 mm | 660 / 760 / 310 mm |
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